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日本advance激光熱膨脹儀LIX-2 series 低膨脹膜/有機(jī)膜的厚度方向和低膨脹玻璃/金屬的微小熱膨脹可以以1nm的小分辨率進(jìn)行檢測(cè)。 測(cè)量熱膨脹的方法包括推桿法，光學(xué)干涉法，遠(yuǎn)攝法和電容器法。
